폭락에 견딜 반도체 종목 (2) - 일본에는 레이져테크, 한국에는 HPSP
2024-01-22 17:33
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HPSP는 좋은 회사입니다. 다만 이 회사를 이해하기 위해서는 포밍가스 어닐링을 이해할 필요가 있습니다. 이는 일반적인 열처리 어닐링과는 다른 공정 순서에서 사용됩니다.
반도체 8대공정을 가지고 이야기 한다면 이온 주입 이후에는 일반적인 레이저 어닐링이나 RTP(급속 열처리 공정)를 사용합니다.
그러나 증착이나 산화를 통해 절연막을 생성할때는 포밍가스 어닐링을 사용해서 계면의 특성을 바로 잡습니다. 특히 HKMG에서 하프늄 전구체를 사용해서 증착시킨 막의 경우 댕글링 본드라고 해서 전자의 흐름을 방해하는 결함이 산화막보다 100배나 심해집니다.
결국 최첨단 공정으로 갈수록 포밍가스 어닐링은 필수적이 됩니다.
HPSP는 포밍가스 어닐링 중에서도 수소 농도를 100%로 하고 압력을 높인 고압 수소 어닐링을 세계 최초로 상용화시킨 회사입니다.
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