산화와 증착을 알아보자. HKMG를 이해하기 위한 필수 지식 !
2023-12-30 18:08
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산화와 증착은 박막 형성이라는 점은 같지만 많은 점에서 다릅니다. 미세공정으로 되면서 증착이 산화막 공정을 일부 밀어내고 있지만 실리콘산화막은 여전히 강력한 기능을 수행합니다.
산화와 증착은 HKMG를 이해하는데 필수적인 공정입니다. 이를 이해하면 HPSP라든가 디엔에프, 주성엔지니어링의 전망에 큰 도움이 됩니다.
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