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플라즈마 식각이란 무엇인가? 또 DRIE는 왜 대세가 됐나?

2024-02-01 21:57

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플라즈마의 성질과 건식식각, 그리고 화룡 점정에 해당하는 DRIE 공법에 대해 정리한 것입니다. 식각의 기초에 대해 궁금한 분들은 인포마켓 기초회원 동영상과 함께 이 글을 읽어보시면 많은 도움이 될 겁니다.

대문 사진은 RIE 공법에 대한 설명도.

강대표

라이터 등록 2021-06-04

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